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半导体含氟废水处理案例|半导体含氟废水处理方法

投资项目历史背景 该半导体设备加工单位是在华中中南部,最主要的生产的融合电线电源芯片,日产生含氟废污水约800吨。致使场地生态环保标准规范从而提高,已有净化处理公共设施无非做到氟化物产生密度少于5mg/L的新需要,单位融资11000万元再建专业性含氟废污水净化处理程序。 污废水 化学物质及种类 废水处理具体起取决于处理芯片研发方式中的刻蚀工艺程序和的清洗工艺程序,具体造成的挥发性有机物包扩: 氟铁离子溶度:300-800mg/L pH值:2- 内含多量硅酸盐、聚磷酸盐 微量分析血本属如铜、镍等 加工处理加工流量 按照"预正确加工+电化学凝固+广度正确加工"组和加工制作工艺 : 设定池:义均水污染供水量,设计pH再线检测 4级反應池:添加氢硫化钙,操作pH至7-8,生成氟化钙沉积 第一凝固池:凝固分離氟化钙污泥处理 二级考试作用池:加药氯化钙和配位聚氯化铝,进一歩的还原稳定度氟阳离子 三级沉定池:四次沉定分离法 砂滤机系统:清除浮动物 活性酶炭吸收:清理有机化学物和进样器天价属 淤泥治疗控制系统:板框压滤脱水器,淤泥水分含量率降落到60%下例 最后功效 系统化进行稳定性后,出液水硬度: 氟亚铁离子盐浓度:2.1-3.8mg/L pH值:6.5-7. SS<5mg/L 高价属含磷量均不低于检测限 根本做到《电子设备化工业水污染源物排放出标淮标淮》(GB39731-2020)耍求,每人每年缩短氟化物排放出标淮约180吨。

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