半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
楼盘背景图
该各个行业为高度领跑的半导公测各个行业,处在珠三边形沿海地区,主要是展开高档次基带芯片的划区和装封各种测试。由内地节能减排规定要求须严格,各个行业确定进行废水办理零废气排放的项目工程。的项目于2020年加载,2026年6月成立投入运营,办理大规模为200吨/日,总的投资约2000余万元。
废液组成及来源地
这项必要性片区工业废水有这优缺点:
高渗透压氟化物,一般来自五湖四海晶圆切割机后的洗涤加工过程,氟铝离子渗透压高达到150-200mg/L
含有微米级硅粉颗粒剂,颗粒直径多在100-500nm区间内
有机会承载较高,COD在500-800mg/L
有进样器天价属如铅、镉等
导电率高,常在2000-3000μS/cm
处理加工制作工艺 操作流程
为达到达标排放口个人目标,艺规划重要注意焦化废水划分采集而来和信息回收公司:
废渣划分回收利用操作系统
:将含氟污废污水 与其它的污废污水 分类建立汇集
化学式积淀除氟
:进行两极钙盐奠定法,加上高质量奠定池
高档氧化的治理
:臭氧杀菌催化脱色脱色可降解难办理有机酸物
膜浓缩咖啡系统软件
:采取DTRO碟管式反融入,浸提公因数为10倍
多效蒸发沉淀
:MVR机诫蒸气再减小蒸发掉器治疗浓水
干涩系統
:将心得盐吹干后作工業副成品外售
治理 功效
装置使用数据源体现:
氟化物清掉率>99.9%,喷水氟铁离子<1mg/L
COD总的还原率>98%,水流COD<20mg/L
水物资回收利用率>95%,仅存在少量出晶粒盐
每一年的回收利用并高好品质回收利用水约六万吨
沉淀盐饱和度提升轻工业级标准,达到环境污泥处置利于
的项目这不仅实现了了生活污水零减排,还可以通过資源回笼开创了约80万的大写/年的特别效率。