半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
項目历史背景
该制造业园聚合了十余家半导体行业涉及到的的行业,装修设计日加工处里学习能力5000吨,需用加工处里来自五湖四海差距的行业的混合法生活污水。因此各的行业种植鑫霖环保差距大,生活污水组分多样化多种多样,加工处里一定的难度较高。
焦化废水部分及种类
废液关键涵盖3个类:高生物碳肥料废气氨水浓度生物碳肥料废液(光刻胶、定影液等)、含氟废液(刻蚀工艺流程)和酸碱平衡废液(的清洗工艺流程)。特殊性化学物质涵盖异丙醇、四甲基氢硫化铵等难降解塑料生物碳肥料物,以其氟化物、高锰酸盐指数等高分子破坏物。废液COD震荡大(500-3000mg/L),氟化物生物碳肥料废气氨水浓度100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
补救的工艺工作流程
运用"等级分类收集整理+分质除理+集约化进一步除理"的改革创新机制:
公司企业内部管理归类预操作:含氟化工废水用单独回收并预操作
开发区管线分类别传送系统
全方位的上下调整池稳定水环境
二级混疑沉积出掉漂浮物和胶体溶液
效率高生物体体现器(HBR)处里有机质废弃物物
活性氧崔化空气氧化光降解难分离设计物
反参透系统软件展开脱盐外理
红外光谱线消毒杀菌确认有水出安全保障
相当设定了迅雷在线监控方案软件系统和主动投药软件系统,对待水的质量价格波动。
然后作用
体系开机运行五年期来,工作视觉效果安全靠得住。出水量COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,达成地面水Ⅳ类规格,大部分采用于项目植物及急冷塔补湿,采用率已超30%。每一年缩减鲜新水采用约100万吨,为项目的企业控制成本水电费上百万块。