某半导体材料厂在研发进程中安全使用硝酸铵系成像液，有高渗透压含NOx废污水，日除理量50吨。废污泥中含NO2-可高达2000mg/L，且含氢化物发生器充分光刻胶成分表，除理困难程度比较大的。 2. 废水处理物质及来源于 显影液繁琐流程废气（大部分危害源） 晶圆拆洗废气 印刷废气洗涤剂塔排水性 3. 正确处理工艺设备流程步骤 采取"高级工程师氧化的+多级生物工程处里"改革创新鑫霖环保： 嗅氧被氧化 ：实现嗅氧进行器存在O3，将难降解塑料无机物转化为小团伙成分，的同时将NO2-腐蚀为NO3-。 生物工程膜发应器（MBR） ： 一级：缺氧的症状生态下加药系统甲醇作碳源，利于反硝化细菌发应 第二种级：好氧生态学膜进一部溶解生物碳物 电无机化学长度治理 ：使用钛基金属涂层参比电极，采用电解法帮助全面进行分解多余严重污染物质。 4. 后面结果 NOx总氮降为8mg/L之下 COD保持稳定在30mg/L以里 废渣中水回用率达60% 系统的作业耗电量把握在3.5kWh/吨水，较过去的的工艺工业节能20%。