该晶圆营造厂建在华中区域,通常加工8寸大半导体技术晶圆,日访问量焦化废水废气排放出量约800吨。由加工的过程中实用很多氢佛酸对其进行晶圆蚀刻,影响焦化废水里氟化物质量浓度到达200-300mg/L,远超发展中国家废气排放出规范(10mg/L下)。
废水处理工艺组成成分及来历
化工废水注意产于三大原则:
晶圆蚀刻程序
:含高盐浓度氟化物(HF)、硝酸钠及大量天价属
检查是否机戒增加光泽(CMP)污水
:含奈米级硅科粒、有机酸络合剂
系统刷洗废污水
:含异丙醇、化学需氧量等充分物
处理生产工艺程序
使用"生物沉垫+混凝土沉垫+纵深过滤程序"四级补救控制系统:
1级正确处理
:添加氯化钙和氢硫化钙,变成氟化钙沉垫,氟化物取除率达85%
特殊加工处理
:“添加PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),弄掉氢氧化铁态环境破坏物
三级职业资格证书办理
:在多物质过滤装置器和抗逆性炭溶解,出水量氟化物氧浓度稳固在8mg/L以內
关键点环保设备涵盖:pH自然调接系统性、斜管沉淀出的池、板框压泥机(废水过滤)。
最后感觉
创业项目程序运行十年检测数剧体现 :
氟化物总值含量:7.2mg/L(低过地方规范标准)
COD清掉率:92%
污泥干化水分含量率:≤65%
年回收应用氟化钙副货品约150吨,完成网络污泥处置应用