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电子级磷酸废水处理案例|电子级磷酸废水处理方法

西南某8.5代液晶板的面版研发线,在研发历程中利用光学级磷酸来进行玻离基材蚀刻,每一天产生了约200m³高浓硫酸浓度含磷废液。大型项目标淮实行90%使用率,且使用污水水质需可达到超超纯水标淮(热敏电阻率≥18MΩ·cm)。 废水处理方法化学成分及从何而来 电镀生产焦化废水主要是划分两大类:第一高分量废酸液(磷酸分量约10-15%),原于蚀刻机定期进行更換的废渣;二要低分量喷洗电镀生产焦化废水(磷酸0.5-1.5%)。电镀生产焦化废水优点:室温较高(40-45℃),具有刺激性进样器锡、钼等金属材质硫氰酸盐,TDS约5000-8000mg/L。 治理工艺设计工作流程 改革创新适用"分类别采集+自然再生资源利用+膜集合"方法线路: 废酸利用系统化 : 释压萃取安装收售85%往上磷酸 空气冷却水進入售后进行处理 浓度低值电镀废水补救线 : 采和想法池(NaOH缓解pH至6.5-7.5) 管式微滤膜(清掉浮动物) 反渗入设备(6级RO收废率75%) 电去阳离子设备(EDI精净化处理) 浓水工作单园 : 生物晶体除磷(演变成鸟粪石沉垫) 汽化器进而减轻化 之后的效果 大型项目做到磷酸利用率85%,每月复苏微电子级磷酸约3.5吨;水回收利用率预期做到92%,回收利用水阻值率稳定性在18.2MΩ·cm上文。与老式预防方试相较,年浪费药物费用280多万元,变少危废处理形成量6000吨/年。软件定时化程度较高,仅需3人轮班值班制度。

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